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據相關實踐來看,半導體器件加工的硅片對純度有著很高要求,需要達到約百分百的要求,所以對于硅片加工人們保持著高度的關注。
在半導體制作工藝中,硅片與超純水有著千絲萬縷的聯系,其中80%以上的工序需要應用到超純水,而且一旦超純水不達標。含有雜質的進入硅片加工中,則會使其性能下降,影響整體的產品品質。所以,為了不影響硅片品質,制備高品質的超純水已成為發展該行業的重要標準,而制備超純水的設備也需符合行業標準。
那么,這種制備高品質的超純水既超純水設備,無論是在設計上還是應用上都具有自己的優勢。超純水設備內部設計緊湊,主要采用的是市面上比較可靠的,且自動化程度高的兩級RO+EDI水處理工藝。這一工藝的應用確保了設備生產的超純水水質符合行業要求,并且水資源的利用率較高。
超純水設備中使用的材料均采用可靠的產品,保證各個組件穩定運行。設備的自動化程度高,系統穩定性高,在投資上大大節省人力和維修成本。這樣一來該超純水設備與其它產品相比較,具有更高的性價比,帶來了一定的經濟效益。
以上,就是全文介紹。雖然,我國硅片產業起步較晚,但我們一直都在進步,我們也將穩步趕超。并且有了超純水設備的助陣,我國半導體產業未來可期。
技術資料
萊特萊德工程案例