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四川省某半導體企業(yè)超純水項目介紹

  半導體行業(yè)在生產(chǎn)的時候需要大量的清洗水,隨著半導體工業(yè)的不斷發(fā)展,對清洗水的電導性、離子含量、TOC、DO、Particles要求也越來越嚴格。由于半導體用超純水對多項指標的高要求,所以在半導體行業(yè),超純水不同于其他行業(yè)對水的要求,半導體行業(yè)對超純水有嚴格的水質(zhì)要求。

  在半導體生產(chǎn)工藝中,硼是P型雜質(zhì),過量會使n型硅反型,對電子、空穴濃度有影響。因此在超純水行業(yè)中,要充分考慮硼的脫除。《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)標準中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。如果硼離子含量能夠達到更低的指標,勢必會提升半導體的性能。

  萊特萊德超純水設備能夠連續(xù)穩(wěn)定的制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水,不會因為樹脂再生而停止運行,設備結構設計相對靠緊,所以其占地較小,可以為企業(yè)節(jié)省很多空間,工業(yè)用超純水設備在出廠前均需進行裝置調(diào)試,所以設備故障幾率較小,日常保養(yǎng)、維修等操作都十分簡單。目前,超純水設備已在諸多項目在運行,應用優(yōu)勢顯著。

  萊特萊德超純水設備應用于某半導體企業(yè)

  一、項目名稱:四川省某半導體企業(yè)超純水項目

  二、項目地址:四川省

  三、執(zhí)行標準

  《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)

  《Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries》(ASTM-D5127-13)

  四、項目工藝:

  Huncotte系統(tǒng)選用核子級樹脂,通過獨有的靶向離子交換樹脂,能夠有效控制系統(tǒng)出水的硼離子含量,硼離子含量通過IPC-MS檢測,硼離子出水≤0.005μg/L遠遠小于ASTM-D5127-13標準中E1.3中要求硼離子≤0.05μg/L。相信更優(yōu)質(zhì)的超純水,可以給半導體帶來更好的性能,給半導體企業(yè)帶來更強的優(yōu)勢。

  萊特萊德長年致力于水處理設備的開發(fā)、研制和生產(chǎn),積累了豐富的水處理技術制造經(jīng)驗,擁有專業(yè)的加工設備,齊全的檢測手段,完善的質(zhì)保體系以及合理的售后服務。

技術資料

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